美國研發出1納米製作技術

美國布魯克海文國家實驗室（Brookhaven National Laboratory，簡稱BNL）研究人員日前宣布，開發出可以達成 1 奈米製程的相關技術與設備。

美國能源部屬下的布魯克海文國家實驗室（Brookhaven National Laboratory）採用電子束印刷技術，成功製造出 1 納米的印刷設備，研究人員採用電子顯微鏡，製造出比普通電子束印刷（EBL）技術能做出的更小尺寸。這使電子敏感性材料在聚焦電子束的作用下，尺寸得以大大縮細，達到可操縱單個原子的程度。這項技術與設備的誕生可改變物料特性，從導電變成光傳輸，或這兩種狀態下交互執行。

1 納米印刷使用的是掃描投射電子顯微鏡（STEM），隔開 11 納米，這樣一來每平方公厘就能實現 1 兆個特徵點（features）的密度，再透過偏差修正 STEM 在 5 納米半柵極在氫氧矽酸鹽類抗蝕劑下，實現 2 納米解像度。

雖然，這也不是科學家第一次達到 1 納米級別的技術，2016 年美國能源部的另一個國家實驗室也發展出 1 納米製程技術。這部分使用的是納米碳管和二硫化鉬等新物料。不過，這項技術都不會很快量產，因為納米碳管電晶體跟 PMMA 和電子束光刻一樣，跟現有半導體製程技術有明顯差異。因此，要讓廠商一下子全部淘汰現有設備，還需一段時間。